Augstas tīrības etāns

High purity ethane has become indispensable in semiconductor manufacturing, where even parts-per-billion impurities can disrupt fabrication processes. Defined as ethane with purity>=99.995%, high purity ethane undergoes extensive processing including cryogenic distillation and getter purification to remove oxygen, moisture, and heavier Ogļūdeņraži . Globālais augstas tīrības etāna tirgus pieaug par 9% gadā, ko izraisa pieprasījums pēc progresīvām mikroshēmām un displejiem.

Pusvadītāju izgatavošanā augstas tīrības pakāpes etāns kalpo vairākām kritiskām funkcijām:

Silīcija nitrīda slāņu silīcija nitrīda slāņu kodināšana plazmā

Ķīmiskā tvaika nogulsnēšanās oglekļa leģētu plēvi

Kameras tīrīšanas procesi EUV litogrāfijas sistēmās

Mūsdienu attīrīšanas metodes augstas tīrības etānam tagad sasniedz ievērojamu piesārņojuma līmeni:

<0.1 ppm total hydrocarbons

<0.5 ppm moisture

<0.01 ppb metallic impurities

Lai novērstu piesārņotāju adsorbciju {. Gāzes sadales sistēmas, tiek izmantotas augstas tīrības etāna uzglabāšana un apstrāde, lai novērstu piesārņotāju adsorbciju .. piemaisījumi var samazināt pārveidošanas efektivitāti līdz 2%.

Recentās inovācijas ietver reāllaika masas spektrometrijas uzraudzību augstas tīrības etāna plūsmām, ļaujot nekavējoties noteikt tīrības novirzes. Kad mikroshēmu ģeometrijas sarūk zem 2nm mezgliem, specifikācijas augstas tīrības etānam kļūst vēl stingrākas, veicinot nepārtrauktu uzlabošanos ražošanas un analīzes tehnoloģijās.

Populāri tagi: Augstas tīrības etāns, Ķīna Augstas tīrības etāna ražotāji, piegādātāji, rūpnīca