Sēra heksafluorīda gāze

Pusvadītāju lietojumprogrammu scenāriji: precīzi saskaņojot progresīvo ražošanas procesu prasības

5N klases sēra heksafluorīdu izmanto kā efektīvu kodināšanas līdzekli, lai precīzi gravētu mikronu līmeņa ķēdes modeļus uz silīcija vafelēm, izvairoties no sānu sienas raupjuma vai ierīces īsām ķēdēm, ko izraisa piemaisījumi.

Tās ķīmiskā stabilitāte var noņemt atlikumus nogulsnēšanās aprīkojuma dobumā, un tajā pašā laikā kā izolācijas slāņa dopinga līdzeklim tas var uzlabot viena režīma optisko šķiedru optisko veiktspēju un nodrošināt fotolitogrāfijas procesa stabilitāti.

Iekšēji drošas īpašības, kas saistītas ar neuzliesmojošu un nekorozīvu, samazina uzglabāšanas un lietošanas riskus vafeļu ražošanas iekārtās un atbilst pusvadītāju tīrīšanas istabu standartiem.

Pareizai sēra heksafluorīda gāzes apstrādei ir vajadzīgas specializētas zināšanas un aprīkojums, ņemot vērā tā unikālo īpašību kombināciju. Kaut arī pats SF6 ir netoksisks, gāze ir piecas reizes blīvāka nekā gaiss un var izraisīt nosmaktu noslēgtību slēgtās telpās. Rūpnieciskie lietotāji parasti strādā ar sēra heksafluorīdu 99,997% vai augstākas tīrības pakāpes, katrai no tām ir nepieciešami nedaudz atšķirīgi apstrādes apsvērumi.

Lai novērstu piesārņojumu, ir nepieciešama augstas tīrības sēra heksafluorīda 99,999% uzglabāšana un pārnešana. Īpaši izstrādāti gāzes skapīši ar integrētām attīrīšanas sistēmām saglabā elektroniskās pakāpes sēra heksafluorīda kvalitāti izplatīšanas laikā. Visas iekārtas, kas nonāk saskarē ar SF6 gāzi, ir rūpīgi jāiztīra un pasīvo, lai novērstu reakciju, kas varētu radīt bīstamus blakusproduktus.

Avārijas reaģēšanas procedūras sēra heksafluorīda CAS 2551-62-4 izlaidumiem uzsver ventilāciju un atmosfēras uzraudzību, nevis tradicionālās ķīmiskās ierobežošanas metodes. Mūsdienu SF6 apstrādes sistēmās ir iekļauti reāllaika gāzes sensori, kas izraisa trauksmes signālus, kas ir tik zemas kā 100 ppm, krietni zem bīstamā līmeņa, bet pietiekami, lai savlaicīgi noteiktu noplūdes.

Populāri tagi: Sēra heksafluorīda gāze, Ķīnas sēra heksafluorīdu gāzes ražotāji, piegādātāji, rūpnīca